商特儀器為半導(dǎo)體企業(yè)提供高精度檢測(cè)儀器。
?晶圓加工過(guò)程中提供如拉曼光譜儀,在線高速分光干涉膜厚儀、表面輪廓測(cè)量系統(tǒng)等,實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)晶圓厚度、平坦度、膜厚、雜質(zhì)的實(shí)時(shí)把控。
?針對(duì)拋光液、光刻膠、光掩膜等半導(dǎo)體功能材料進(jìn)行理化分析的相關(guān)儀器,如納米粒度分析儀、激光粒度儀、光刻膠測(cè)量裝置。
?在生產(chǎn)流程的清潔環(huán)境驗(yàn)證方面,提供有如空氣粒子計(jì)數(shù)器、沉降粒子監(jiān)控設(shè)備、風(fēng)速風(fēng)溫溫濕度、噪音計(jì)、振動(dòng)計(jì),滿足生產(chǎn)環(huán)境所需的污染控制與人員工作條件。
?水質(zhì)檢測(cè),有TOC分析儀、液體顆粒計(jì)數(shù)器等儀器設(shè)備,滿足高精密制造的生產(chǎn)條件實(shí)時(shí)監(jiān)控。
?芯片封裝測(cè)試階段,商特提供可靠性測(cè)試與分析設(shè)備,如紅外光譜儀、各類顯微鏡、CT掃描裝置、偏壓測(cè)試系統(tǒng)、可焊性測(cè)試、恒溫恒濕試驗(yàn)箱等等。