產品的優勢和特點

LEGEX系列是初項達0.28μm的高精度CNC三坐標測量機，對所有可能產生誤差的因素進行嚴格分析并排除或最大程度地降低其影響。

●高精度：實現最大允許長度測量誤差E0, MPE=1.2+3 L/1000（μm) 。

●高剛性：高剛性橋梁結構設計中使用有限元（FEM）分析，以確保導軌的垂直度和良好的防震性能。滿足設備高速時的穩定性，各軸均帶有自動調節空氣軸承，從而保證設備的高精度測量。

●超高精度單元：各軸上所安裝的超高精度晶化玻璃柵尺幾乎無熱膨脹，并結合最小分辨力為50nm的高性能反射線性編碼器，構成了超高精度測長單元

●高速、高加速度：測量速度達到3mm/s。

●實時溫度補償系統：各軸及工件均配備溫度補償傳感器，測量時的溫度變化能隨時補正，并將測量結果校正為20℃時水平。